FMM(Fine Metal Mask)은 OLED Display의 컬러를 만들어 내는 RGB 발광층을 증착할때 사용되는 Mask이다.
| No | Item | Spec | Other | |
|---|---|---|---|---|
| 1 | Substrate | Material | Invar | Need to Check |
| Width | 156mm ~ 400mm | |||
| Thickness | 15~30㎛ | |||
| 2 | Line Speed | Speed | 1.0m/min (0.5~ 3.0mm/min) | |
| 3 | Plating | Cu | 63~31㎛ (400~800PPI) | |
Pretreatment
EUV
LPR
Coating
Exposure
Develop
EUV
1st Etching
& Strip
ER
Coating
EUV
2nd Etching
& Strip
EUV