FMM

FMM(Fine Metal Mask)은 OLED Display의 컬러를 만들어 내는 RGB 발광층을 증착할때 사용되는 Mask이다.

FMM
No Item Spec Other
1 Substrate Material Invar Need to Check
Width 156mm ~ 400mm
Thickness 15~30㎛
2 Line Speed Speed 1.0m/min (0.5~ 3.0mm/min)
3 Plating Cu 63~31㎛ (400~800PPI)

Process

  1. Pretreatment

  2. EUV

  3. LPR
    Coating

  4. Exposure

  5. Develop

  6. EUV

  7. 1st Etching
    & Strip

  8. ER
    Coating

  9. EUV

  10. 2nd Etching
    & Strip

  11. EUV